| A63.7069 عملکرد اصلی نرم افزار | ||
| تنظیم فشار بالا | اسکن خط عمودی | تنظیم شیفت بالقوه |
| تنظیم جریان رشته | تنظیم کنسرتور | اندازه گیری چند مقیاس |
| تنظیم استیگماتیک | تنظیم الکتریکی به مرکزی | روشنایی / کنتراست اتوماتیک |
| تنظیم روشنایی | تنظیم لنز لنز | فوکوس خودکار |
| تنظیم کنتراست | پیش نمایش عکس | از بین بردن خودکار استیگمت |
| تنظیم بزرگنمایی | فرمانده فعال | تنظیم اتوماتیک رشته |
| حالت اسکن منطقه انتخاب شده | 4 تنظیم سرعت اسکن | مدیریت پارامترها |
| حالت اسکن نقطه | معکوس شدن لنز هدف | عکس لحظه ای، منجمد کردن تصویر |
| اسکن سطح | معکوس کنسنتور | یک نگاه سریع کلیدی |
| اسکن خط افقی | تنظیم چرخش الکتریکی | |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| قطعنامه | 3nm@30KV ((SE) 6nm@30KV ((BSE) |
1.5nm@30KV ((SE) 3nm@30KV ((BSE) |
1.0nm@30KV ((SE) 3.0nm@1KV ((SE) 2.5nm@30KV ((BSE) |
| بزرگنمایی | 1x~450000xبزرگ کردن واقعی منفی | 1x ~ 600000x، بزرگنمایی منفی واقعی | 1x ~ 3000000x منفی بزرگنمایی واقعی |
| تفنگ الکتروني | کارتریج فیلامنت ولتفستم از قبل متمرکز شده | تفنگ گيرنده ي فيلد شوتکي | تفنگ گيرنده ي فيلد شوتکي |
| ولتاژ | ولتاژ شتاب 02️30kV، تنظیم مداوم، تنظیم مرحله 100V@0-10Kv، 1KV@10-30KV | ||
| نگاه سریع | یک کلید عملکرد تصویر سریع | N/A | N/A |
| سیستم لنز | لنز سه سطح الکترومغناطیسی | لنز چند سطح الکترومغناطیسی | |
| دیافراگم | 3 مولیبدن باز کننده های لنز، تنظیم می شود خارج از سیستم خلاء، نیازی به جدا کردن لنز برای تغییر دیافراگم | ||
| سیستم خلاء | 1 پمپ مولکولی توربو 1 پمپ مکانیکی خلاء اتاق نمونه>2.6E-3Pa خلاء اتاق تفنگ الکترونی>2.6E-3Pa کنترل خلاء کاملا اتوماتیک عملکرد قفل خلاء مدل اختیاری: A63.7069-LV 1 پمپ مولکولی توربو 2پمپ های مکانیکی خلاء اتاق نمونه>2.6E-3Pa خلاء اتاق تفنگ الکترونی>2.6E-3Pa کنترل خلاء کاملا اتوماتیک عملکرد قفل خلاء خلاء کممحدوده 10 ~ 270Pa برای تغییر سریع در 90 ثانیه برای BSE ((LV) |
1 مجموعه پمپ یون 1 پمپ مولکولی توربو 1 پمپ مکانیکی خلاء اتاق نمونه>6E-4Pa خلاء اتاق تفنگ الکترونی>2E-7 Pa کنترل خلاء کاملا اتوماتیک عملکرد قفل خلاء |
1 پمپ یون اسپوتر 1 پمپ ترکیب یون گتر 1 پمپ مولکولی توربو 1 پمپ مکانیکی خلاء اتاق نمونه>6E-4Pa خلاء اتاق تفنگ الکترونی>2E-7 Pa کنترل خلاء کاملا اتوماتیک عملکرد قفل خلاء |
| دتکتور | SE: آشکارساز الکترون ثانویه با خلاء بالا (با حفاظت از آشکارساز) | SE: آشکارساز الکترون ثانویه با خلاء بالا (با حفاظت از آشکارساز) | SE: آشکارساز الکترون ثانویه با خلاء بالا (با حفاظت از آشکارساز) |
| BSE: نیمه هادی 4 بخش بندی دتکتور پخش عقب |
اختیاری | اختیاری | |
| مدل اختیاری: A63.7069-LV BSE ((LV): نیمه هادی 4 بخش بندی دتکتور پخش عقب |
|||
| CCD:دوربین CCD مادون قرمز | CCD:دوربین CCD مادون قرمز | CCD:دوربین CCD مادون قرمز | |
| پورت را گسترش دهید | 2 گسترش پورت در اتاق نمونه برای EDS، BSD، WDS و غیره |
4 گسترش پورت در اتاق نمونه گیری برای BSE، EDS، BSD، WDS و غیره |
4 گسترش پورت در اتاق نمونه گیری برای BSE، EDS، BSD، WDS و غیره |
| مرحله نمونه گیری | 5 محور مرحله 4ماشین+ 1راهنماکنترل مسافت سفر: X=70mm، Y=50mm، Z=45mm، R=360°، T=-5°~+90° ((دستور) تابع تماس هشدار و توقف مدل اختیاری: A63.7069-L5 محور اتوماتیک مرحله بزرگ |
5 محورماشین وسطمرحله مسافت سفر: X=80mm، Y=50mm، Z=30mm، R=360°، T=-5°~+70° تابع تماس هشدار و توقف مدل اختیاری: A63.7080-L5 محورماشین بزرگمرحله |
5 محورماشین بزرگمرحله مسافت سفر: X=150mm، Y=150mm، Z=60mm، R=360°، T=-5°~+70° تابع تماس هشدار و توقف |
| حداکثر نمونه | قطر 175 میلی متر، ارتفاع 35 میلی متر | قطر 175 میلی متر، ارتفاع 20 میلی متر | قطر ۳۴۰ میلی متر، ارتفاع ۵۰ میلی متر |
| سیستم تصویر | تصویر ثابت واقعی با وضوح حداکثر 4096x4096 پیکسل فرمت فایل تصویر: BMP ((پیش فرض) ، GIF، JPG، PNG، TIF |
تصویر ثابت واقعی با وضوح حداکثر 16384x16384 پیکسل فرمت فایل تصویر: TIF ((پیش فرض) ، BMP، GIF، JPG، PNG ویدیو: ضبط اتوماتیک دیجیتال. |
تصویر ثابت واقعی با وضوح حداکثر 16384x16384 پیکسل فرمت فایل تصویر: TIF ((پیش فرض) ، BMP، GIF، JPG، PNG ویدیو: ضبط اتوماتیک دیجیتال. |
| کامپیوتر و نرم افزار | سیستم استیشن کاری PC Win 10، با نرم افزار تجزیه و تحلیل تصویر حرفه ای برای کنترل کامل کل عملیات میکروسکوپ SEM، مشخصات کامپیوتر کمتر از Inter I5 3.2GHz، حافظه 4G،مانیتور LCD 24 اینچی IPS، 500G هارد دیسک، ماوس، کیبورد | ||
| صفحه نمایش عکس | سطح تصویر غنی و دقیق است، نشان دهنده بزرگنمایی در زمان واقعی، فرمانده، ولتاژ، منحنی خاکستری | ||
| ابعاد وزن |
بدن میکروسکوپ 800x800x1850mm میز کار 1340x850x740mm وزن کل 400 کیلوگرم |
بدن میکروسکوپ 800x800x1480mm میز کار 1340x850x740mm وزن کل 450 کیلوگرم |
بدن میکروسکوپ 1000x1000x1730mm میز کار 1330x850x740mm وزن کل 550 کيلوگرم |
| لوازم جانبی اختیاری | |||
| لوازم جانبی اختیاری | A507002طیف سنج اشعه ایکس پراکنده انرژی EDS A507011پوشش اسپتینگ یون |
A507001دستگاه تشخیص الکترون های پخش کننده BSE A507002طیف سنج اشعه ایکس پراکنده انرژی EDS A507011پوشش اسپتینگ یون A507030پنل کنترل موتور |
A507001دستگاه تشخیص الکترون های پخش کننده BSE A507002طیف سنج اشعه ایکس پراکنده انرژی EDS A507011پوشش اسپتینگ یون A507030پنل کنترل موتور |
| A507001 | آشکارساز BSE | یک دتاکتور پخش عقب چهار بخش نیمه هادی؛ موجود در مواد A+B، اطلاعات مورفولوژی A-B؛ نمونه های موجود را بدون اسپتر کردن طلا مشاهده کنید. به طور مستقیم از نقشه خاکستری مشاهده می شود. |
| A507002 | EDS (دتاکتور اشعه ایکس) | پنجره سیلیکون نیترید (Si3N4) برای بهینه سازی انتقال اشعه ایکس با انرژی پایین برای تجزیه و تحلیل عناصر سبک وضوح فوق العاده و الکترونیک پیشرفته کم سر و صدا آنها عملکرد قابل توجهی را ارائه می دهند. اثر انگشت کوچک انعطاف پذیری را برای تضمین هندسه ایده آل و شرایط جمع آوری AATA فراهم می کند؛ دستگاه هاي شناسايي يه تراشه 30 ميلي متر مربع دارن |
| A507003 | EBSD (دفراسیون پرتو الکترون به عقب) | کاربر می تواند جهت گیری کریستالی، مرحله کریستالی و بافت میکرو مواد و عملکرد مواد مرتبط را تجزیه و تحلیل کند. بهینه سازی خودکار تنظیمات دوربین EBSD در طول جمع آوری داده ها، انجام تجزیه و تحلیل در زمان واقعی تعاملی برای به دست آوردن اطلاعات حداکثر تمام داده ها با برچسب زمانی که می تواند در هر زمان مشاهده شود، علامت گذاری شده است. رزولوشن بالا 1392 x 1040 x 12 سرعت اسکن و شاخص: 198 نقطه / ثانیه، با Ni به عنوان استاندارد، تحت شرایط 2 ~ 5nA، می تواند نرخ شاخص ≥99٪ را تضمین کند. کار می کند به خوبی در شرایط کم نور و ولتاژ کم 5kV در 100pA دقت اندازه گیری جهت گیری: بهتر از 0.1 درجه استفاده از سیستم شاخص سه گانه: نیازی به تکیه بر تعریف یک باند نیست، آسان شاخص بندی از کیفیت الگوی ضعیف پایگاه داده اختصاصی: پایگاه داده ویژه EBSD به دست آمده از طریق دیفرانکشن الکترون: >400 ساختار فازی قابلیت شاخص: می تواند به طور خودکار تمام مواد کریستالی 7 سیستم کریستالی را فهرست کند. گزینه های پیشرفته شامل محاسبه سفتی الاستیک (Elastic Stiffness) ، فاکتور تیلور (Taylor) ، فاکتور شمیت (Schmid) و غیره است. |
| A507010 | ماشين پوشش | شيشه محافظ: 250mm؛ ارتفاع 340mm؛ اتاق پردازش شیشه: ¥88mm؛ 140mm بلند، ¥88mm؛ 57mm بلند؛ اندازه مرحله نمونه: ¥40mm (حداکثر) سیستم خلاء: پمپ مولکولی و پمپ مکانیکی تشخیص خلاء: اندازه گیری پیرانی؛ خلاء: بهتر از 2 × 10-3 Pa؛ حفاظت از خلاء:20 Pa با شیر پرتاب میکروسکیلی؛ حرکت نمونه: چرخش هواپیمایی، پیشرفت شیب. |
| A507011 | پوشش اسپتینگ یون | اتاق پردازش شیشه: 100mm؛ 130mm بالا؛ اندازه مرحله نمونه: 40 میلی متر ((6 فنجان نمونه را نگه دارید) ؛ اندازه هدف طلایی: ¥58mm*0.12mm ((ضخامت) ؛ تشخیص خلاء: اندازه گیری پیرانی؛ حفاظت از خلاء:20 Pa با شیر پرتاب میکروسکیلی؛ گاز متوسط: آرگون یا هوا با ورودی هوا مخصوص گاز آرگون و تنظیم گاز در مقیاس کوچک |
| A507012 | پوشش آرگون یون اسپترینگ | نمونه با کربن و طلا تحت خلاء بالا پوشش داده شده بود. جدول نمونه قابل چرخش، پوشش یکنواخت، اندازه ذرات حدود 3-5nm؛ هيچ انتخابي از مواد هدف، هيچ آسيبي به نمونه ها عملکردهای تمیز کردن یون و رقیق کردن یون می تواند تحقق یابد. |
| A507013 | خشک کن نقطه بحرانی | قطر داخلی: 82mm، طول داخلی: 82mm؛ محدوده فشار:0-2000psi محدوده دما: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A507014 | لیتوگرافی پرتو الکترونی | بر اساس میکروسکوپ الکترونی اسکن، یک سیستم جدید نوردهی نانو توسعه یافت. اصلاحات تمام توابع سم را برای ساخت تصویر پهنای خط نانومحدود حفظ کرده است. سیستم Ebl اصلاح شده به طور گسترده ای در دستگاه های میکروالکترونیک، دستگاه های اپتوالکترونیک، دستگاه های کوانتونیک، تحقیق و توسعه سیستم های میکروالکترونیک استفاده می شود. |
| A63.7069 لوازم مصرفی استاندارد | |||
| 1 | فیلامنت ولتفستم | از قبل متمرکز شده، وارد شده | 1 جعبه (5 عدد) |
| 2 | فنجان نمونه | قطر 13 میلی متر | 5 عدد |
| 3 | فنجان نمونه | دی.۳۲ میلی متر | 5 عدد |
| 4 | نوار رسانای کربن دو طرفه | ۶ میلی متر | 1 بسته |
| 5 | روغن خلاء | 10 پی سی | |
| 6 | پارچه بدون مو | 1 لوله | |
| 7 | خمیر پولیش | 1 پی سی | |
| 8 | جعبه نمونه | 2 کیسه | |
| 9 | سواب پنبه ای | 1 پی سی | |
| 10 | فیلتر مه نفتی | 1 پی سی | |
| A63.7069 ابزار و قطعات استاندارد | |||
| 1 | باز کن شش گوشه ای داخلی | 1.5mm ~ 10mm | 1 مجموعه |
| 2 | پنچی | طول 100-120 میلی متر | 1 پی سی |
| 3 | پیچک بند | 2*50mm، 2*125mm | دو عدد |
| 4 | پیچ و خم کن متقاطع | 2*125mm | 1 پی سی |
| 5 | پاک کننده دیافراگم | 1 پی سی | |
| 6 | چوب تمیز کننده | 1 پی سی | |
| 7 | ابزار تنظیم رشته | 1 پی سی | |
| 8 | گاسکت تنظیم فیلامنت | 3 پی سی | |
| 9 | دستگاه استخراج لوله | 1 پی سی | |
| ابزار آماده سازی نمونه از میکروسکوپ الکترونی اسکن | ||