| عملکرد اصلی نرم افزار A63.7069 | ||
| تنظیم فشار بالا | اسکن خط عمودی | تنظیم شیفت بالقوه |
| تنظیم جریان رشته | تنظیم کندانسور | اندازه گیری چند مقیاسی |
| تنظیم آستیگماتیک | تنظیم برق به مرکزی | روشنایی / کنتراست خودکار |
| تنظیم روشنایی | تنظیم لنز شیئی | فوکوس خودکار |
| تنظیم کنتراست | پیش نمایش عکس | حذف خودکار آستیگماتیسم |
| تنظیم بزرگنمایی | خط کش فعال | تنظیم خودکار رشته |
| حالت اسکن منطقه انتخاب شده | 4 تنظیم سرعت اسکن | مدیریت پارامترها |
| حالت اسکن نقطه ای | وارونگی عدسی شیئی | عکس فوری، انجماد تصویر |
| اسکن سطح | معکوس شدن کندانسور | نمایش سریع یک کلید |
| اسکن خط افقی | تنظیم چرخش الکتریکی | |
| SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
| وضوح | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV (BSE) |
1.5nm@30KV (SE) 3nm@30KV (BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV (BSE) |
| بزرگنمایی | 8x~300000x بزرگنمایی واقعی منفی | 8x~800000x بزرگنمایی واقعی منفی | 6x~1000000x بزرگنمایی واقعی منفی |
| تفنگ الکترونی | کارتریج رشته تنگستن از قبل متمرکز شده است | تفنگ انتشار میدان شاتکی | تفنگ انتشار میدان شاتکی |
| ولتاژ | ولتاژ شتاب 0~30KV، قابل تنظیم پیوسته، تنظیم مرحله 100V@0-10KV، 1KV@10-30KV | ||
| مشاهده سریع | عملکرد تصویر یک کلید مشاهده سریع | N/A | N/A |
| سیستم لنز | لنز مخروطی الکترومغناطیسی سه سطحی | لنز مخروطی الکترومغناطیسی چند سطحی | |
| دیافراگم | 3 دیافراگم شی مولیبدن، قابل تنظیم در خارج از سیستم خلاء، بدون نیاز به جدا کردن شیء برای تغییر دیافراگم | ||
| سیستم خلاء | 1 پمپ مولکولی توربو 1 پمپ مکانیکی وکیوم اتاق نمونه> 2.6E-3Pa وکیوم اتاق تفنگ الکترون>2.6E-3Pa کنترل خلاء کاملاً خودکار عملکرد اینترلاک خلاء مدل اختیاری: A63.7069-LV 1 پمپ مولکولی توربو 2پمپ های مکانیکی وکیوم اتاق نمونه> 2.6E-3Pa وکیوم اتاق تفنگ الکترون>2.6E-3Pa کنترل خلاء کاملاً خودکار عملکرد اینترلاک خلاء خلاء کممحدوده 10 ~ 270 Pa برای سوئیچ سریع در 90 ثانیه برای BSE (LV) |
1 ست پمپ یونی 1 پمپ مولکولی توربو 1 پمپ مکانیکی وکیوم اتاق نمونه>6E-4Pa وکیوم اتاق تفنگ الکترون> 2E-7 Pa کنترل خلاء کاملاً خودکار عملکرد اینترلاک خلاء |
1 پمپ یون اسپاتر 1 پمپ یون ترکیبی Getter 1 پمپ مولکولی توربو 1 پمپ مکانیکی وکیوم اتاق نمونه>6E-4Pa وکیوم اتاق تفنگ الکترون> 2E-7 Pa کنترل خلاء کاملاً خودکار عملکرد اینترلاک خلاء |
| آشکارساز | SE: آشکارساز الکترون ثانویه با خلاء بالا (با محافظ آشکارساز) | SE: آشکارساز الکترون ثانویه با خلاء بالا (با محافظ آشکارساز) | SE: آشکارساز الکترون ثانویه با خلاء بالا (با محافظ آشکارساز) |
| BSE: Semiconductor 4 Segmentation آشکارساز پراکندگی پشت مدل اختیاری: A63.7069-LV BSE (LV): Semiconductor 4 Segmentation آشکارساز پراکندگی پشت |
اختیاری | اختیاری | |
| CCD:دوربین CCD مادون قرمز | CCD:دوربین CCD مادون قرمز | CCD:دوربین CCD مادون قرمز | |
| گسترش بندر | 2 پورت را در اتاق نمونه برای EDS، BSD، WDS و غیره |
4 پورت را در اتاق نمونه برای BSE، EDS، BSD، WDS و غیره |
4 پورت را در اتاق نمونه برای BSE، EDS، BSD، WDS و غیره |
| مرحله نمونه | مرحله 5 محور، 4خودکار+1کتابچه راهنمایکنترل محدوده سفر: X=70mm، Y=50mm، Z=45mm، R=360°، T=-5°~+90° (دستی) عملکرد هشدار و توقف را لمس کنید |
5 محورخودکار وسطصحنه محدوده سفر: X=80mm، Y=50mm، Z=30mm، R=360°، T=-5°~+70° عملکرد هشدار و توقف را لمس کنید مدل اختیاری: A63.7080-M5 محورکتابچه راهنمایصحنه A63.7080-L5 محورخودکار بزرگصحنه |
5 محورخودکار بزرگصحنه محدوده سفر: X=150mm، Y=150mm، Z=60mm، R=360°، T=-5°~+70° عملکرد هشدار و توقف را لمس کنید |
| حداکثر نمونه | قطر 175 میلی متر، ارتفاع 35 میلی متر | قطر 175 میلی متر، ارتفاع 20 میلی متر | قطر 340 میلی متر، ارتفاع 50 میلی متر |
| سیستم تصویر | حداکثر وضوح تصویر ثابت واقعی 4096x4096 پیکسل، فرمت فایل تصویر: BMP (پیش فرض)، GIF، JPG، PNG، TIF |
حداکثر وضوح تصویر ثابت واقعی 16384x16384 پیکسل، فرمت فایل تصویر: TIF (پیش فرض)، BMP، GIF، JPG، PNG ویدئو: ضبط خودکار دیجیتال .AVI Video |
حداکثر وضوح تصویر ثابت واقعی 16384x16384 پیکسل، فرمت فایل تصویر: TIF (پیش فرض)، BMP، GIF، JPG، PNG ویدئو: ضبط خودکار دیجیتال .AVI Video |
| نرم افزار کامپیوتر | PC Work Station Win 10 System، با نرم افزار تحلیل تصویر حرفه ای برای کنترل کامل عملکرد میکروسکوپ SEM، مشخصات کامپیوتر کمتر از Inter I5 3.2GHz، حافظه 4G، مانیتور LCD IPS 24 اینچی، هارد دیسک 500G، ماوس، صفحه کلید | ||
| نمایش عکس | سطح تصویر غنی و دقیق است، بزرگنمایی زمان واقعی، خط کش، ولتاژ، منحنی خاکستری را نشان می دهد | ||
| بعد، ابعاد، اندازه & وزن |
بدنه میکروسکوپ 800x800x1850mm میز کار 1340x850x740mm وزن کل 400 کیلوگرم |
بدنه میکروسکوپ 800x800x1480mm میز کار 1340x850x740mm وزن کل 450 کیلوگرم |
بدنه میکروسکوپ 1000x1000x1730mm میز کار 1330x850x740mm وزن کل 550 کیلوگرم |
| لوازم جانبی اختیاری | |||
| لوازم جانبی اختیاری | A50.7002طیف سنج اشعه ایکس پراکنده انرژی EDS A50.7011پوشش یونی کندوپاش |
A50.7001آشکارساز الکترون پراکنده برگشتی BSE A50.7002طیف سنج اشعه ایکس پراکنده انرژی EDS A50.7011پوشش یونی کندوپاش A50.7030موتور کردن پنل کنترل |
A50.7001آشکارساز الکترون پراکنده برگشتی BSE A50.7002طیف سنج اشعه ایکس پراکنده انرژی EDS A50.7011پوشش یونی کندوپاش A50.7030موتور کردن پنل کنترل |
| A50.7001 | آشکارساز BSE | آشکارساز پراکندگی پشت نیمه هادی چهار بخش; موجود در مواد تشکیل دهنده A+B، اطلاعات مورفولوژی AB; مشاهده نمونه موجود بدون کندوپاش طلا. موجود در مشاهده ناخالصی و توزیع از نقشه خاکستری به طور مستقیم. |
| A50.7002 | EDS (ردیاب اشعه ایکس) | پنجره سیلیکون نیترید (Si3N4) برای بهینه سازی انتقال پرتو ایکس با انرژی کم برای تجزیه و تحلیل عناصر سبک. وضوح عالی و الکترونیک پیشرفته کم نویز آنها عملکرد توان عملیاتی فوق العاده ای را ارائه می دهد. Small Footprint انعطاف پذیری را برای اطمینان از هندسه ایده آل و شرایط مجموعه Aata ارائه می دهد. آشکارسازها حاوی یک تراشه 30 میلی متر مربعی هستند. |
| A50.7003 | EBSD (پراش پراکنده پرتو الکترونی) | کاربر می تواند جهت گیری کریستال، فاز کریستالی و بافت میکرو مواد و عملکرد مواد مرتبط و غیره را تجزیه و تحلیل کند. بهینه سازی خودکار تنظیمات دوربین EBSD در طول جمع آوری داده ها، برای به دست آوردن حداکثر اطلاعات، تجزیه و تحلیل لحظه ای تعاملی انجام دهید تمام داده‌ها با برچسب زمانی علامت‌گذاری شدند که در هر زمان قابل مشاهده هستند وضوح بالا 1392 x 1040 x 12 سرعت اسکن و شاخص: 198 امتیاز در ثانیه، با Ni به عنوان استاندارد، تحت شرایط 2 ~ 5 nA، می تواند نرخ شاخص ≥99٪ را تضمین کند. در شرایط جریان کم پرتو و ولتاژ پایین 5 کیلو ولت در 100 pA به خوبی کار می کند دقت اندازه گیری جهت گیری: بهتر از 0.1 درجه با استفاده از سیستم شاخص تریپلکس: بدون نیاز به تکیه بر تعریف تک باند، نمایه سازی آسان با کیفیت الگوی ضعیف پایگاه داده اختصاصی: پایگاه داده ویژه EBSD به دست آمده با پراش الکترون: ساختار فاز 400> توانایی شاخص: می تواند به طور خودکار تمام مواد کریستالی 7 سیستم کریستالی را فهرست کند. گزینه های پیشرفته شامل محاسبه سفتی الاستیک (Elastic Stiffness)، ضریب Taylor (Taylor)، ضریب Schmidt (Schmid) و غیره است. |
| A50.7010 | دستگاه پوشش | پوسته محافظ شیشه: ∮250 میلی متر؛ارتفاع 340 میلی متر؛ اتاق پردازش شیشه: ∮88 میلی متر؛140 میلی متر ارتفاع، ∮88 میلی متر؛ارتفاع 57 میلی متر؛ اندازه مرحله نمونه: ∮40mm (حداکثر)؛ سیستم خلاء: پمپ مولکولی و پمپ مکانیکی. تشخیص خلاء: پیرانی گیج; خلاء: بهتر از 2 X 10-3 Pa. حفاظت از خلاء: 20 پاسکال با شیر باد کردن در مقیاس میکرو. حرکت نمونه: چرخش صفحه، انحراف شیب. |
| A50.7011 | پوشش یونی کندوپاش | محفظه پردازش شیشه: ∮100 میلی متر؛130 میلی متر ارتفاع؛ اندازه مرحله نمونه: ∮40mm (6 فنجان نمونه را نگه دارید) ; اندازه هدف طلایی: ∮58mm*0.12mm (ضخامت)؛ تشخیص خلاء: پیرانی گیج; حفاظت از خلاء: 20 پاسکال با شیر باد کردن در مقیاس میکرو. گاز متوسط: آرگون یا هوا با ورودی هوای ویژه گاز آرگون و تنظیم کننده گاز در مقیاس میکرو. |
| A50.7012 | روکش کندوپاش یون آرگون | نمونه با کربن و طلا تحت خلاء زیاد آبکاری شد. جدول نمونه قابل چرخش، پوشش یکنواخت، اندازه ذرات حدود 3-5 نانومتر. بدون انتخاب مواد هدف، بدون آسیب به نمونه ها. کارکردهای تمیز کردن یون و نازک شدن یون قابل تحقق است. |
| A50.7013 | خشک کن نقطه بحرانی | قطر داخلی: 82 میلی متر، طول داخلی: 82 میلی متر. محدوده فشار: 0-2000psi؛ محدوده دما: 0-50 درجه سانتی گراد (32-122 درجه فارنهایت) |
| A50.7014 | لیتوگرافی پرتو الکترونی | بر اساس میکروسکوپ الکترونی روبشی، یک سیستم جدید نوردهی نانو ایجاد شد. Modificaton تمام عملکردهای Sem را برای ساخت تصویر پهنای خط در مقیاس نانو حفظ کرده است. سیستم Ebl تغییر یافته به طور گسترده در دستگاه‌های میکروالکترونیک، دستگاه‌های الکترونیک نوری، دستگاه‌های کوانتون، تحقیق و توسعه سیستم میکروالکترونیک اعمال می‌شود. |
| A63.7069 تجهیزات مصرفی استاندارد | |||
| 1 | رشته ی تنگستن | از قبل متمرکز شده، وارداتی | 1 جعبه (5 عدد) |
| 2 | جام نمونه | قطر 13 میلی متر | 5 عدد |
| 3 | جام نمونه | قطر 32 میلی متر | 5 عدد |
| 4 | نوار رسانا دو طرفه کربن | 6 میلی متر | 1 بسته |
| 5 | گریس وکیوم | 10 عدد | |
| 6 | پارچه بی مو | 1 لوله | |
| 7 | خمیر پولیش | 1 کامپیوتر | |
| 8 | جعبه نمونه | 2 کیسه | |
| 9 | گوش پاک کن | 1 کامپیوتر | |
| 10 | فیلتر مه روغن | 1 کامپیوتر | |
| A63.7069 ابزار و قطعات استاندارد | |||
| 1 | آچار شش گوش داخلی | 1.5 میلی متر تا 10 میلی متر | 1 مجموعه |
| 2 | موچین | طول 100-120 میلی متر | 1 کامپیوتر |
| 3 | پیچ گوشتی شکاف دار | 2*50 میلی متر، 2*125 میلی متر | 2 عدد |
| 4 | پیچ گوشتی متقاطع | 2*125 میلی متر | 1 کامپیوتر |
| 5 | پاک کننده دیافراگم | 1 کامپیوتر | |
| 6 | میله تمیز کردن | 1 کامپیوتر | |
| 7 | ابزار تنظیم رشته | 1 کامپیوتر | |
| 8 | واشر تنظیم رشته | 3 عدد | |
| 9 | لوله کش | 1 کامپیوتر | |
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
