| میکروسکوپ الکترونی اسکن فیلامنت ولتفرم (SEM) |
| |
A63.7006 |
A63.7015 |
| قطعنامه |
15nm@30KV ((SE) |
5nm@30KV ((BSE) |
| بزرگنمایی |
20x~60000x |
20x~150000x |
| تفنگ الکتروني |
کارتریج فیلامنت ولتفستم از پیش متمرکز شده، سیستم اتوماتیک ولتاژ تعصب |
| ولتاژ |
ولتاژ شتاب دهنده 1KV تا 30KV 1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 مرحله |
| سیستم لنز |
یک لنز دو مرحله ای الکترومغناطیسی، لنز های یک مرحله ای الکترومغناطیسی |
| دیافراگم |
- |
دیافراگم آیریس قابل تنظیم 30/50/50/100um، تغییر شعاع الکترو برای گرفتن تصویر با وضوح بالا |
| سیستم خلاء |
پمپ چرخش، 100 لیتر/ دقیقه پمپ مولکولی توربو، 70 لیتر/ ثانیه زمان پمپاونگ پایین <3 دقیقه کنترل خلاء کاملا اتوماتیک |
| دتکتور |
SE: آشکارساز الکترون ثانویه |
| BSE: ردیاب پخش عقب (اختیاری) |
| EDS: (اختیاری) |
| مرحله کار نمونه |
3- محور سیستم، محور X، Y: 35mm / محور R: 360° |
5- محور سیستم: X، محور Y: 35mm / محور R: 360 °، Z: 0 ~ 22mm / محور شیب: 0 ~ 45 ° |
| حداکثر نمونه |
قطر 70 میلی متر، ارتفاع 30 میلی متر |
قطر 80 میلی متر، ارتفاع 35 میلی متر |
| تغییر تصویر |
تغییر تصویر X، Y ±150um |
| سیستم اسکن تصویر |
اسکن سریع: 320x240 (زمان اسکن: 0.1 ثانیه) اسکن کند: 640x480 (زمان اسکن: 3 ثانیه) حالت عکس 1: 1280x960 حالت عکس 2: 2560x1920 حالت عکس 3: 5120x3840 |
| فرمت تصویر |
BMP، JPEG، PNG، TIFF |
| عملکرد اتوماتیک |
شروع اتوماتیک، تمرکز اتوماتیک، روشنایی اتوماتیک/تضاد |
| صفحه نمایش عکس |
بزرگنمایی، نوع آشکارساز، ولتاژ شتاب دهنده، حالت خلاء، لوگو ((متن) ، تاریخ و زمان، نشانگر متن، نوار مقیاس و غیره. |
| کامپیوتر و نرم افزار |
سیستم استیشن کاری PC Win 10، با نرم افزار تجزیه و تحلیل تصویر حرفه ای برای کنترل کامل کل عملیات میکروسکوپ SEM، مشخصات کامپیوتر کمتر از Inter I5 3.2GHz، حافظه 4G،مانیتور LCD 24 اینچی IPS، 500G هارد دیسک، ماوس، کیبورد |
| اندازه و وزن |
بدن میکروسکوپ 460x600x950mm، وزن کل 95 کیلوگرم |
| A63.7006، A63.7015 ابزار و قطعات استاندارد |
| 1 |
فیلامنت ولتفستم از قبل متمرکز شده |
3 عدد در هر جعبه |
| 2 |
قطر مرحله نمونه: 15 میلی متر |
5 عدد |
| 3 |
قطر مرحله نمونه: 25 میلی متر |
5 عدد |
| 4 |
قطر مرحله نمونه: 15 میلی متر 45 درجه خم |
3 عدد |
| 5 |
قطر مرحله نمونه: 15mm 90° |
3 عدد |
| 6 |
ارتفاع استاندارد استاد |
۱ درصد |
| 7 |
کلیدهای آلن |
1 مجموعه |
| 8 |
سی دی نرم افزار SEM |
۱ درصد |
| 9 |
نوار رسانای کربن) |
۱ درصد |
| 10 |
قیچی |
۱ درصد |
| 11 |
آوریلاو |
۱ درصد |
| 12 |
پنچی |
۱ درصد |