مشخصات اصلی: 1ولتاژ شتاب: 1-15kV، قابل تنظیم مداوم. 2. نوع تفنگ الکترونی: تفنگ انتشار میدان اسکاتی (FEG) ، لنز تفنگ دو مرحله ای کاملاً یکپارچه ، نیازی به تنظیم دستی دیافراگم لنز هدف نیست. 3بزرگنمایی ≥1000000X" 4. قطعنامه:≤2.5nm@15KV 5آشکارساز: آشکارساز الکترون ثانویه (SE) ، آشکارساز چهارگانه بازتاب (BSE) 6مرحله: 2 محور XY مرحله موتور، حرکت 60x55mm" 7حداکثر اندازه نمونه: 100*78*68.5mm در حالی که محور XY آزادانه حرکت می کند 8. تغییر نمونه و زمان پمپاژ خلاء بالا≤ 180s 9سیستم خلاء بالا: پمپ مکانیکی، پمپ مولکولی توربو، پمپ یون x2، خلاء در اتاق نمونه ≥4x10-2Pa، کنترل کاملا خودکار 10حالت ویدیو ≥512x512 پیکسل، نیازی به اسکن پنجره کوچک نیست. 11حالت اسکن سریع: زمان تصویربرداری≤3s، 512x512 پیکسل. 12حالت اسکن آهسته: زمان تصویربرداری≤40s، 2048x2048 پیکسل. 13فایل تصویر: BMP، TIFF، JPEG، PNG. 14یک کلید تنظیم خودکار روشنایی و کنتراست، تمرکز خودکار، خیاط تصویر بزرگ 15عملکرد ناوبری: ناوبری دوربین نوری و دوربین کابین 16عملکرد اندازه گیری تصویر: فاصله، زاویه و غیره 17از جمله کامپیوتر و نرم افزار، کنترل ماوس. 18اختیاری: - فیلامنت تونگستین (۲۰ عدد در جعبه) --EDS --3 محور مرحله موتور XYZ --3 محور مرحله موتور XYT --5 محور مرحله موتور XYZRT - خلاء کم (1-60Pa) -- مرحله در محل از کارخانه اصلی، گرمایش، خنک سازی، کشش و غیره -- حالت کاهش سرعت، 1-10KV، می تواند نمونه های غیر رسانا یا هدایت ضعیف را بدون اسپری طلا مشاهده کند، فقط برای حالت BSE --پلتفرم جذب شوک (برای A63.7005 توصیه می شود) 19اندازه میکروسکوپ 650*370*642 میلی متر، اندازه پمپ مکانیکی 340*160*140 میلی متر |
مدل | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
قطعنامه | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
بزرگنمایی | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
تفنگ الکتروني | ولتفستم | ولتفستم | ولتفستم | LaB6 | SCHOTTY FEG |
ولتاژ | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
دتکتور | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
CCD ناوبری | CCD | CCD | CCD+کیمره کابین | CCD+کیمره کابین | CCD+کیمره کابین |
زمان خلاء | دهه 90 | دهه 90 | دهه 30 | دهه 90 | ۱۸۰ |
سیستم خلاء | پمپ مکانیکی پمپ مولکولی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی پمپ یون |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی پمپ یون x2 |
خلاء | خلاء بالا 1x10-1Pa |
خلاء بالا 1x10-1Pa |
خلاء بالا 1x10-1Pa |
خلاء بالا 5x10-4Pa |
خلاء بالا 5x10-4Pa |
مرحله | مرحله XY، 40x30/40x40 میلی متر |
مرحله XY، 40x30/40x40 میلی متر |
مرحله XY، 60x55 میلی متر |
مرحله XY، 60x55 میلی متر |
مرحله XY، 60x55 میلی متر |
دقت مرحله | - | موقعیت دقیق 5um | |||
فاصله کاری | 5 تا 35 میلی متر | 5 تا 35 میلی متر | 5 تا 73.4 میلی متر | 5 تا 73.4 میلی متر | 5 تا 73.4 میلی متر |
حداکثر نمونه | 80x42x40 میلی متر | 80x42x40 میلی متر | 100x78x68.5 میلی متر | 100x78x68.5 میلی متر | 100x78x68.5 میلی متر |
اختیاری | فیلامنت ولتفستم 20 عدد در جعبه | لابراتوار6 رشته | لامپ انتشار میدان | ||
EDS اکسفورد AZtecOne با XploreCompact 30 | |||||
- | خلاء کم 1-100Pa | خلاء کم 1-30Pa | |||
- | ماژول محور Z | 3 محور مرحله، X 60mm، Y 50mm، Z 25mm | |||
- | ماژول محور T | 3 محور مرحله، X 60mm، Y 50mm، T ± 20° | |||
- | - | 5 محور مرحله، X 90mm، Y 50mm، Z 25mm، T ± 20°، R 360° | |||
- | - | پلتفرم جذب شوک، برای 3 محور، 5 محور مرحله | |||
- | حالت کاهش سرعت 1-10KV برای مشاهده نمونه های غیر رسانا، فقط برای BSE | ||||
- | مرحله در محل از کارخانه اصلی، گرمایش، خنک سازی، کشش و غیره | ||||
UPS |
▶AZtecOne با XploreCompact 30 برای TTM
تحلیل سیستم آموزش های معمولی این سیستم تجزیه و تحلیل کیفی و کمی مواد مختلف را فراهم می کند، تجزیه و تحلیل عناصر از B ((5) تا cf (98) علاوه بر اسکن های نقطه ای فردی از سطح نمونه،اسکن های خط قوی و اسکن های طیف عنصر نیز در دسترس هستند.. در ترکیب با یک آشکارساز سفارشی، تجزیه و تحلیل و گزارش در ثانیه انجام می شود. |
منطقه کریستالی موثر | 30mm2 | رزولوشن (از یک عکس) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
محدوده تشخیص عنصر | B (5) تا cf (98) | حداکثر نرخ شمارش ورودی | >1000،000 cps |