A63.7004 میکروسکوپهای الکترونی روبشی رومیزی (SEM)، ارتقاء تفنگ از تنگستن به LaB6،شامل فناوریهای نوآورانه متعددی است که نه تنها عملکرد تصویربرداری عالی را ارائه میدهد، بلکه قابلیت حمل را نیز دارد و نیازهای طیف گستردهای از کاربردها را برآورده میکند. سری ZEM، هم در داخل و هم در سطح بینالمللی، با موقعیتیابی پیشرفته و مدلهای متنوع خود، به استانداردهای پیشرفتهای در وضوح تصویر، سهولت استفاده و یکپارچهسازی سیستم دست یافته است.
A63.7004به دلیل سطح بالای یکپارچهسازی و گزینههای پیکربندی انعطافپذیر خود مشهور است. رابط کاربری ساده، یادگیری و کار با آن آسان است و به کاربران غیر متخصص نیز اجازه میدهد تا به سرعت مهارت پیدا کنند. نرمافزار همراه، کل گردش کار، از آمادهسازی نمونه، تنظیم پارامترها تا تجزیه و تحلیل تصویر را پشتیبانی میکند و یک راهحل یکپارچه و کارآمد ارائه میدهد.A63.7004قابلیتهای تحلیلی قوی را در زمینههای متعددی مانند مواد جدید، انرژی جدید، زیستپزشکی و نیمهرساناها نشان داده است و به محققان در کشف اسرار دنیای میکروسکوپی کمک میکند. به دلیل نسبت هزینه به عملکرد عالی، سری ZEM به انتخاب ارجح بسیاری از دانشگاهها، مؤسسات تحقیقاتی و شرکتها تبدیل شده است که به دنبال یک میکروسکوپ الکترونی روبشی رومیزی هستند.
SEM رومیزی A63.7004 از طیف وسیعتری از ولتاژهای شتابدهنده، گامهای 1 کیلوولت و حداکثر بزرگنمایی 360000 برابر با وضوح تا 5 نانومتر استفاده میکند. حالت کاهش سرعت رومیزی امکان مشاهده بلادرنگ محصولات با هدایت الکتریکی کم را بدون نیاز به اسپری طلا فراهم میکند. محفظه نمونه فوقالعاده بزرگ را میتوان با طیف گستردهای از پلتفرمهای توسعه درونموقعیتی ادغام کرد تا نیازهای مختلف آزمایشگاهی و بازرسی را برآورده کند. |
شرایط کاری: الزامات محیطی: اندازه کوچک، کل دستگاه را میتوان روی یک میز آزمایشگاهی معمولی قرار داد، بدون نیاز به تجهیز به میز جذب شوک اضافی. 1. منبع تغذیه 220 ولت، 50 هرتز، 1 کیلووات 2. دما: دمای محیط کار: 15 درجه سانتیگراد تا 30 درجه سانتیگراد 3. رطوبت: <80%RH |
مشخصات اصلی: 1. ولتاژ شتاب: 3-20 کیلوولت، قابل تنظیم مداوم. 2. نوع تفنگ الکترونی: رشته LaB6 تک کریستالی از پیش تنظیم شده، طول عمر 1500 ساعت، لنز تفنگ دو مرحلهای با یکپارچگی بالا، بدون نیاز به تنظیم دستی دیافراگم لنز شیئی. 3. بزرگنمایی ≥360000X؛ 4. وضوح:≤3 نانومتر در 20 کیلوولت 5. آشکارساز: آشکارساز الکترون ثانویه (SE)، آشکارساز چهارگانه پراکندگی برگشتی (BSE)، 6. استیج: استیج موتوری 2 محور XY، حرکت 60x55mm؛ 7. حداکثر اندازه نمونه: 100*78*68.5mm در حالی که محورهای XY آزادانه حرکت میکنند 8. زمان تعویض نمونه و پمپاژ خلاء بالا ≤ 90 ثانیه. 9. سیستم خلاء بالا: پمپ مکانیکی، پمپ توربو مولکولی، پمپ یونی، خلاء در محفظه نمونه ≥4x10-2Pa، کنترل کاملاً خودکار؛ 10. حالت ویدئو ≥512x512 پیکسل، بدون نیاز به اسکن پنجره کوچک. 11. حالت اسکن سریع: زمان تصویربرداری ≤3 ثانیه، 512x512 پیکسل. 12. حالت اسکن آهسته: زمان تصویربرداری ≤40 ثانیه، 2048x2048 پیکسل. 13. فایل تصویر: BMP، TIFF، JPEG، PNG. 14. تنظیم خودکار روشنایی و کنتراست با یک کلید، فوکوس خودکار، اتصال تصویر بزرگ 15. عملکرد ناوبری: ناوبری دوربین نوری و دوربین کابین. 16. عملکرد اندازهگیری تصویر: فاصله، زاویه و غیره. 17. شامل کامپیوتر و نرمافزار، کنترل ماوس. 18. اختیاری: -- رشته تنگستن (20 عدد/جعبه) --EDS -- استیج موتوری 3 محور XYZ -- استیج موتوری 3 محور XYT -- استیج موتوری 5 محور XYZRT -- خلاء کم (1-60Pa) -- استیج درونموقعیتی از کارخانه اصلی، گرمایش، سرمایش، کشش و غیره -- حالت کاهش سرعت، 1-10 کیلوولت، میتواند نمونههای غیر رسانا یا با هدایت ضعیف را بدون اسپری طلا مشاهده کند، فقط برای حالت BSE -- پلتفرم جذب شوک (توصیه شده برای A63.7004) 19. اندازه میکروسکوپ 650*370*642mm، اندازه پمپ مکانیکی 340*160*140mm |
مدل | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
وضوح | 10 نانومتر در 15 کیلوولت | 6 نانومتر در 18 کیلوولت | 4 نانومتر در 20 کیلوولت | 3 نانومتر در 20 کیلوولت | 2.5 نانومتر در 15 کیلوولت |
بزرگنمایی | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
تفنگ الکترونی | تنگستن | تنگستن | تنگستن | LaB6 | Schotty FEG |
ولتاژ | 5/10/15 کیلوولت | 3-18 کیلوولت | 3-20 کیلوولت | 3-20 کیلوولت | 1-15 کیلوولت |
آشکارساز | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
CCD ناوبری | CCD | CCD | CCD+دوربین کابین | CCD+دوربین کابین | CCD+دوربین کابین |
زمان خلاء | 90 ثانیه | 90 ثانیه | 30 ثانیه | 90 ثانیه | 180 ثانیه |
سیستم خلاء | پمپ مکانیکی پمپ مولکولی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی پمپ یونی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی پمپ یونی x2 |
خلاء | خلاء بالا 1x10-1Pa |
خلاء بالا 1x10-1Pa |
خلاء بالا 1x10-1Pa |
خلاء بالا 5x10-4Pa |
خلاء بالا 5x10-4Pa |
استیج | استیج XY, 40x30/40x40mm |
استیج XY, 40x30/40x40mm |
استیج XY, 60x55mm |
استیج XY, 60x55mm |
استیج XY, 60x55mm |
دقت استیج | - | موقعیت دقیق 5um | |||
فاصله کاری | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
حداکثر نمونه | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
اختیاری | فیلتر تنگستن 20 عدد/جعبه | فیلتر Lab6 | لامپ انتشار میدانی | ||
EDS Oxford AZtecOne با XploreCompact 30 | |||||
- | خلاء کم 1-100Pa | خلاء کم 1-30Pa | |||
- | ماژول محور Z | استیج 3 محور، X 60mm، Y 50mm، Z 25mm | |||
- | ماژول محور T | استیج 3 محور، X 60mm، Y 50mm، T ±20° | |||
- | - | استیج 5 محور، X 90mm، Y 50mm، Z 25mm، T ±20°، R 360° | |||
- | - | پلتفرم جذب شوک، برای استیج 3 محور، 5 محور | |||
- | حالت کاهش سرعت 1-10 کیلوولت برای مشاهده نمونههای غیر رسانا، فقط برای BSE | ||||
- | استیج درونموقعیتی از کارخانه اصلی، گرمایش، سرمایش، کشش و غیره | ||||
UPS |
▶ AZtecOne با XploreCompact 30 برای TTM
تجزیه و تحلیل EDS سیستم متعارف این سیستم تجزیه و تحلیل کیفی و کمی مواد مختلف را ارائه میدهد و عناصر را از B(5) تا cf (98) تجزیه و تحلیل میکند. علاوه بر اسکنهای نقطهای جداگانه از سطح نمونه، اسکنهای خطی قدرتمند و اسکنهای طیفی عنصری نیز در دسترس هستند. همراه با یک آشکارساز سفارشی، تجزیه و تحلیل و گزارشدهی را میتوان در عرض چند ثانیه انجام داد. |
مساحت موثر کریستال | 30mm2 | وضوح (یک عکس) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
محدوده تشخیص عنصری | B (5) تا cf (98) | حداکثر نرخ شمارش ورودی | >1,000,000 cps |