A63.7003 میکروسکوپهای الکترونی روبشی رومیزی (SEM)شامل فناوریهای نوآورانه متعددی است که نه تنها عملکرد تصویربرداری عالی را ارائه میدهد، بلکه قابلیت حمل را نیز دارد و نیازهای طیف گستردهای از کاربردها را برآورده میکند. سری ZEM، هم در داخل و هم در سطح بینالمللی، با موقعیتیابی بالا و مدلهای متنوع خود، به استانداردهای پیشرفتهای در وضوح تصویر، سهولت استفاده و یکپارچهسازی سیستم دست یافته است.
A63.7003به دلیل سطح بالای یکپارچهسازی و گزینههای پیکربندی انعطافپذیر خود مشهور است. رابط کاربری ساده، آسان برای یادگیری و کار است و به کاربران غیر متخصص نیز اجازه میدهد تا به سرعت مهارت پیدا کنند. نرمافزار همراه، کل گردش کار، از آمادهسازی نمونه، تنظیم پارامترها تا تجزیه و تحلیل تصویر را پشتیبانی میکند و یک راهحل یکپارچه و کارآمد ارائه میدهد.A63.7003قابلیتهای تحلیلی قوی را در چندین زمینه مانند مواد جدید، انرژی جدید، زیستپزشکی و نیمهرساناها نشان داده است و به محققان در کشف اسرار دنیای میکروسکوپی کمک میکند. به دلیل نسبت هزینه به عملکرد عالی، سری ZEM به انتخاب ارجح برای بسیاری از دانشگاهها، موسسات تحقیقاتی و شرکتهایی تبدیل شده است که به دنبال یک میکروسکوپ الکترونی روبشی رومیزی هستند.
SEM رومیزی A63.7003 از طیف وسیعتری از ولتاژهای شتابدهنده، 1 کیلوولت گامها و حداکثر بزرگنمایی 360000 برابر با وضوح تا 5 نانومتر استفاده میکند. حالت کاهش سرعت رومیزی امکان مشاهده بیدرنگ محصولات با رسانایی کم را بدون نیاز به اسپری طلا فراهم میکند. محفظه نمونه فوقالعاده بزرگ را میتوان با طیف گستردهای از پلتفرمهای توسعه درونموقعیتی ادغام کرد تا نیازهای مختلف آزمایشگاهی و بازرسی را برآورده کند. |
شرایط کاری: الزامات محیطی: اندازه کوچک، کل دستگاه را میتوان روی یک میز آزمایشگاهی معمولی قرار داد، بدون نیاز به تجهیز به یک میز جذب شوک اضافی. 1. منبع تغذیه 220 ولت، 50 هرتز، 1 کیلووات 2. دما: دمای محیط کار: 15 درجه سانتیگراد تا 30 درجه سانتیگراد 3. رطوبت: <80%RH |
مشخصات اصلی: 1. ولتاژ شتاب: 3-20 کیلوولت، قابل تنظیم مداوم. 2. نوع تفنگ الکترونی: رشته تنگستن از پیش تنظیم شده، طول عمر 100 ساعت، تعویض آسان توسط کاربر، لنز تفنگ دو مرحلهای با یکپارچگی بالا، بدون نیاز به تنظیم دستی دیافراگم لنز شیئی. 3. بزرگنمایی ≥360000X؛ 4. وضوح:≤4 نانومتر@20KV 5. آشکارساز: آشکارساز الکترون ثانویه (SE)، آشکارساز چهارگانه پراکندگی برگشتی (BSE), 6. استیج: استیج موتوری 2 محور XY، حرکت 60x55mm؛ 7. حداکثر اندازه نمونه: 100*78*68.5mm در حالی که محورهای XY آزادانه حرکت میکنند 8. تغییر نمونه و زمان پمپاژ خلاء بالا≤ 30 ثانیه. 9. سیستم خلاء بالا: پمپ مولکولی توربو داخلی، پمپ مکانیکی خارجی، خلاء در محفظه نمونه ≥1x10-1Pa، کنترل کاملاً خودکار; 10. حالت ویدئو ≥512x512 پیکسل، بدون نیاز به اسکن پنجره کوچک. 11. حالت اسکن سریع: زمان تصویربرداری≤3s، 512x512 پیکسل. 12. حالت اسکن آهسته: زمان تصویربرداری≤40s، 2048x2048 پیکسل. 13. فایل تصویر: BMP، TIFF، JPEG، PNG. 14. تنظیم خودکار روشنایی و کنتراست با یک کلید، فوکوس خودکار، اتصال تصویر بزرگ 15. عملکرد ناوبری: ناوبری دوربین نوری و دوربین کابین. 16. عملکرد اندازهگیری تصویر: فاصله، زاویه و غیره. 17. شامل کامپیوتر و نرمافزار، کنترل ماوس. 18. اختیاری: -- رشته تنگستن (20 عدد/جعبه) --EDS -- استیج موتوری 3 محور XYZ -- استیج موتوری 3 محور XYT -- استیج موتوری 5 محور XYZRT -- خلاء کم (1-100Pa) -- حالت کاهش سرعت، 1-10KV، میتواند نمونههای غیر رسانا یا با رسانایی ضعیف را بدون اسپری طلا مشاهده کند، فقط برای حالت BSE -- استیج درونموقعیتی از کارخانه اصلی، گرمایش، سرمایش، کشش و غیره. -- پلتفرم جذب شوک (توصیه میشود برای A63.7003) 19. اندازه میکروسکوپ 650*370*642mm، اندازه پمپ مکانیکی 340*160*140mm |
مدل | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
وضوح | 10 نانومتر@15KV | 6 نانومتر@18KV | 4 نانومتر@20KV | 3 نانومتر@20KV | 2.5 نانومتر@15KV |
بزرگنمایی | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
تفنگ الکترونی | تنگستن | تنگستن | تنگستن | LaB6 | Schotty FEG |
ولتاژ | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
آشکارساز | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
CCD ناوبری | CCD | CCD | CCD+دوربین کابین | CCD+دوربین کابین | CCD+دوربین کابین |
زمان خلاء | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
سیستم خلاء | پمپ مکانیکی پمپ مولکولی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی پمپ یونی |
پمپ مکانیکی پمپ مولکولی پمپ یونی x2 |
خلاء | خلاء بالا 1x10-1Pa |
خلاء بالا 1x10-1Pa |
خلاء بالا 1x10-1Pa |
خلاء بالا 5x10-4Pa |
خلاء بالا 5x10-4Pa |
استیج | استیج XY, 40x30/40x40mm |
استیج XY, 40x30/40x40mm |
استیج XY, 60x55mm |
استیج XY, 60x55mm |
استیج XY, 60x55mm |
دقت استیج | - | موقعیت دقیق 5um | |||
فاصله کاری | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
حداکثر نمونه | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
اختیاری | رشته تنگستن 20 عدد/جعبه | لامپ Lab6 | لامپ انتشار میدانی | ||
EDS Oxford AZtecOne با XploreCompact 30 | |||||
- | خلاء کم 1-100Pa | خلاء کم 1-30Pa | |||
- | ماژول محور Z | استیج 3 محور، X 60mm، Y 50mm، Z 25mm | |||
- | ماژول محور T | استیج 3 محور، X 60mm، Y 50mm، T ±20° | |||
- | - | استیج 5 محور، X 90mm، Y 50mm، Z 25mm، T ±20°، R 360° | |||
- | - | پلتفرم جذب شوک، برای استیج 3 محور، 5 محور | |||
- | حالت کاهش سرعت 1-10KV برای مشاهده نمونههای غیر رسانا، فقط برای BSE | ||||
- | استیج درونموقعیتی از کارخانه اصلی، گرمایش، سرمایش، کشش و غیره. | ||||
UPS |
▶ AZtecOne با XploreCompact 30 برای TTM
تجزیه و تحلیل EDS سیستم متعارف این سیستم تجزیه و تحلیل کیفی و کمی مواد مختلف را ارائه میدهد و عناصر را از B(5) تا cf (98) تجزیه و تحلیل میکند. علاوه بر اسکنهای نقطهای جداگانه از سطح نمونه، اسکنهای خطی قدرتمند و اسکنهای طیفی عنصری نیز در دسترس هستند. همراه با یک آشکارساز سفارشی، تجزیه و تحلیل و گزارشدهی را میتوان در عرض چند ثانیه انجام داد. |
مساحت موثر کریستال | 30mm2 | وضوح (یک عکس) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
محدوده تشخیص عنصری | B (5) تا cf (98) | حداکثر نرخ شمارش ورودی | >1,000,000 cps |