-
اندازه ویفرA63.7190-68: 6/8 اینچ
-
قطعنامه2.5nm (Acc=800V)
-
ولتاژهای تسریع0.5-1.6kv
-
تکراراستاتیک و دینامیک ±1٪ یا 3nm ((3 Sigma)
-
جریان پرتو پروب3 ~ 30pa
-
محدوده اندازه گیریFOV 0.1 ~ 2.0μm
-
محل منبعچین
-
نام تجاریCNOEC, OPTO-EDU
-
گواهیCE, Rohs
-
شماره مدلA63.7190
-
سند
-
مقدار حداقل تعداد سفارش۱ درصد
-
قیمتFOB $1~1000, Depend on Order Quantity
-
جزئیات بسته بندیبسته بندی کارتن، برای حمل و نقل صادرات
-
زمان تحویل5 تا 20 روز
-
شرایط پرداختT/T، West Union، Paypal
-
قابلیت ارائه5000 عدد در ماه
میکروسکوپ الکترونی اسکن ابعاد بحرانی OPTO-EDU A63.7190 300000x
|
میکروسکوپ الکترونی اسکن ابعاد بحرانی (CD-SEM) یک SEM تخصصی است که برای اندازه گیری ابعاد ویژگی های کوچک در وافرهای نیمه هادی، ماسک های عکاسی و سایر مواد استفاده می شود.این اندازه گیری ها برای اطمینان از دقت و دقت دستگاه های الکترونیکی ساخته شده بسیار مهم هستند..
️سازگار با 6/8 اینچ وافرها اندازه، بزرگنمایی 1000x-300000x ️رزولوشن 2.5nm (Acc=800V) ، ولتاژ شتاب دهنده 500V-1600V ️تکرار پذیری استاتیک و پویا ± 1٪ یا 3nm ((3 سیگما) ، جریان پرتو 3 ~ 30pA ️طراحی سیستم انتقال وفر با سرعت بالا مناسب برای تراشه های نیمه هادی نسل سوم ️سیستم های پیشرفته الکترون اپتیک و پردازش تصویر، از جمله کولر، پمپ خشک |
|
▶ویژگی های کلیدی CD-SEM ها از یک پرتو الکترونی با انرژی پایین استفاده می کنند و کالیبراسیون بزرگنمایی را برای اطمینان از اندازه گیری های دقیق و قابل تکرار افزایش داده اند. آنها برای اندازه گیری ویژگی هایی مانند عرض، ارتفاع،و زاویه های دیوارهای جانبی از الگوها. |
|
▶هدف CD-SEM ها برای اندازه گیری در صنعت نیمه هادی ضروری هستند، به اندازه گیری ابعاد بحرانی (CDs) از الگوهای ایجاد شده در طول فرآیند های لیتوگرافی و حکاکی کمک می کنند.سی دی ها به کوچکترین اندازه های ویژگی اشاره دارند که می توانند به طور قابل اعتماد بر روی یک وفر تولید و اندازه گیری شوند. |
|
▶درخواست ها این ابزارها در خطوط تولید دستگاه های الکترونیکی برای اطمینان از دقت ابعاد لایه های مختلف و ویژگی هایی که تراشه را تشکیل می دهند استفاده می شوند.آنها همچنین نقش مهمی در توسعه فرآیند و کنترل بازی می کنند، کمک به شناسایی و اصلاح هرگونه مشکلاتی که ممکن است در طول فرآیند تولید بوجود آید.
▶اهمیت بدون CD-SEM، میکروالکترونیک مدرن برای دستیابی به سطح بالایی از دقت و عملکرد که توسط صنعت تقاضا می شود، تلاش می کند.آنها برای اطمینان از قابلیت اطمینان و عملکرد دستگاه های الکترونیکی مدرن ضروری هستند. |
|
▶تغییر تکنولوژی با پیشرفت تکنیک های لیتوگرافی و کوچک شدن اندازه های ویژگی ها، سی دی-SEM ها به طور مداوم در حال تکامل هستند تا نیازهای صنعت را برآورده کنند.فناوری ها و پیشرفت های جدید در CD-SEM برای مقابله با چالش های اندازه گیری الگوهای پیچیده تر در حال توسعه است |
| A63.7190 میکروسکوپ الکترونی اسکن ابعاد بحرانی (CDSEM) | ||
| اندازه وافره | A63.7190-68: 6/8 اینچ | A63.7190-12: 12 اينچ |
| قطعنامه | 2.5nm (Acc=800V) | 1.8nm (Acc-800V) |
| ولتاژ شتاب دهنده | 0.5-1.6KV | 0.3-2.0KV |
| تکرار | استاتیک و دینامیک ±1٪ یا 3nm ((3 Sigma) | استاتیک و دینامیک ±1% یا 0.3nm ((3 Sigma) |
| جریان پرتو کاوشگر | 3 ~ 30pA | 3 ~ 40pA |
| محدوده اندازه گیری | FOV 0.1 ~ 2.0μm | FOV 0.05 ~ 2.0μm |
| قدرت تولید | >20 وفل/ساعت | >36 وفل/ساعت |
| 1 امتیاز/چیپ | 1 امتیاز/چیپ | |
| 20 چیپس/وفر | 20 چیپس/وفر | |
| بزرگنمایی | 1Kx ~ 300Kx | 1Kx-500Kx |
| دقت مرحله | 0.5μm | |
| منبع الکترون | فرستنده میدان حرارتی Schottky | |
| مقایسه مدل های اصلی CDSEM در بازار | |||||
| مشخصات | هیتاچی | هیتاچی | هیتاچی | اپتو ادو | اپتو ادو |
| S8840 | S9380 | S9380 II | A63.7190-68 | A63.7190-12 | |
| 1. اندازه وافره | 6 اينچ/8 اينچ | 8 اينچ/12 اينچ | 8 اينچ/12 اينچ | 6 اينچ/8 اينچ | 12 اينچ |
| 2. قطعنامه | 5nm (Acc=800V) | 2nm (Acc=800V) | 2nm (Acc=800V) | 2.5nm (Acc=800V) | 1.8nm (Acc=800V) |
| 3ولتاژ شتاب دهنده | 500-1300 ولت | 300-1600 ولت | 300-1600 ولت | 500-1600 ولت | 300-2000 ولت |
| 4تکرار (استاتیک و پویا) | ± 1٪ یا 5nm ((3 sigma) | ± 1٪ یا 2nm ((3 sigma) | ± 1٪ یا 2nm ((3 sigma) | ± 1٪ یا 3nm ((3 sigma) | ±1% یا 0.3nm ((3 sigma) |
| 5دامنه IP (برقی سُند) | 1 تا 16pA | 3-50pA | 3-50pA | 3-30pA | 3-40pA |
| 6. اندازه FOV | - | 50nm-2um | 0.05-2um | 0.1-2um | 0.05-2um |
| 7.توليد | ۲۶ وفل/ساعت | ۲۴ وافل در ساعت | ۲۴ وافل در ساعت | >20 وافره/ساعت | ۳۶ وافل در ساعت |
| 1 امتیاز/چیپ | 1 امتیاز/چیپ | 1 امتیاز/چیپ | 1 امتیاز/چیپ | 1 امتیاز/چیپ | |
| 5 تراشه/وفر | 20 تراشه/وفر | 20 تراشه/وفر | 20 تراشه/وفر | 20 تراشه/وفر | |
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.