میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) با انتشار میدانی، 200 کیلو ولت، 1500000x |
ولتاژ شتابدهنده |
200 کیلو ولت، تراز کارخانه در 80 کیلو ولت و 200 کیلو ولت |
منبع الکترون |
انتشاردهنده میدانی شوتکی با روشنایی بالا |
جریان پروب |
≥ 1.5nA/1nm Probe |
جریان پرتو |
حداکثر ≥ 50nA در 200 کیلو ولت |
تفکیک خطی TEM |
0.23 نانومتر |
حد اطلاعات TEM |
0.2 نانومتر |
بزرگنمایی |
20x تا 1500000x. |
خلاء تفنگ FEG |
< 1x10-6Pa, |
خلاء ستون TEM |
<5x10-5Pa |
گونیومتر |
گونیومتر کاملاً اگزنتریک با تمام 5 محور موتوری |
دوربین |
دوربین CMOS EMSIS XAROSA 5120x3840 با سرعت 20M در پایین نصب شده است |
استیج |
نگهدارنده Compu Stage Double-tilt |
X ±1mm, Y ±1mm, Z ±0.35mm, α ±25°, β ±25° |
قابل ارتقا |
STEM، نمونههای کریو، توموگرافی، آنالیز EDS |
گارانتی |
گارانتی یک (1) سال. |
لوازم جانبی اختیاری |
نصب |
بسته خدمات آموزشی نصب و راهاندازی در محل اختیاری |
STEM |
آشکارساز STEM حلقوی PNDetector، ماژول پیشرفته ADV-STEM (شامل STEM-HAADF و BF) |
EDS |
Bruker XFlash 7T30S |
نگهدارنده توموگرافی |
1. اندازه نمونه: φ3mm. |
2. محدوده شیب آلفا: ±70°. |
3. وضوح: ≤0.34nm (در هر جهت). |
4. نرخ رانش:<1.5nm/min. |
5. میدان دید: ≥1.6mm@70° شیب. |
نگهدارنده نمونه کریو |
نگهدارنده نمونه کریو: |
1. اندازه نمونه: φ3mm. |
2. محدوده شیب آلفا: ±70°. |
3. وضوح: ≤0.34nm (در هر جهت). |
4. نرخ رانش:<1.5nm/min. |
5. میدان دید: ≥1.6mm@70° شیب. |
ایستگاه پمپاژ مولکولی |
1. خلاء نهایی بهتر از 10e-7 mbar. |
2. چند منظوره: ذخیره نمونه و میله، آزمایش نشت میله در محل. |