میکروسکوپ نیروی اتمی اسکن هواپیما

• طراحی سر اسکن دروازه ای، پایه سنگ مرمر، مرحله جذب خلاء، اندازه نمونه و وزن اساسا نامحدود است.
• A62.4510 + اسکنر شیفت فشار مستقل سه محوره حلقه بسته، که می تواند با دقت بالا در محدوده وسیعی اسکن کند.
• روش تغذیه هوشمند سوزن با تشخیص خودکار سرامیک های پیزوالکتریک با موتور کنترل شده برای محافظت از پروب ها و نمونه ها
• موقعیت یابی خودکار نوری، بدون نیاز به تنظیم فوکوس، مشاهده لحظه ای و منطقه اسکن نمونه کاوشگر موقعیت یابی
• مجهز به سپر فلزی بسته، میز ضربه گیر پنوماتیک، توانایی ضد تداخل قوی

◆ اولین میکروسکوپ نیروی اتمی تجاری در چین که اسکن سیار ترکیبی پروب و نمونه را انجام داد.

◆ اولین مورد در چین که از یک میز اسکن شیفت پیزوالکتریک حلقه بسته مستقل سه محوره برای دستیابی به اسکن با دقت بالا در مقیاس بزرگ استفاده کرد.

◆ اسکن مستقل سه محوره، XYZ بر یکدیگر تأثیر نمی گذارد، برای تشخیص مواد و توپوگرافی سه بعدی بسیار مناسب است.

◆ کنترل الکتریکی میز متحرک نمونه و میز بالابر، که می تواند با موقعیت چند نقطه ای برنامه ریزی شود تا تشخیص سریع خودکار انجام شود.

◆ طراحی سر اسکن دروازه ای، پایه مرمر، جذب خلاء و مرحله جذب مغناطیسی.

◆ موتور به طور خودکار روش تغذیه سوزن هوشمند تشخیص خودکار سرامیکی پیزوالکتریک را برای محافظت از پروب و نمونه کنترل می کند.

◆ موقعیت یابی میکروسکوپ نوری کمکی با بزرگنمایی بالا، مشاهده در زمان واقعی و موقعیت یابی پروب و منطقه اسکن نمونه.

◆ مرحله اسکن پیزوالکتریک حلقه بسته نیازی به تصحیح غیرخطی ندارد و مشخصات نانومتری و دقت اندازه گیری بهتر از 99.5٪ است.

را

• 

• 	A62.4510	A62.4511
  حالت کار	حالت تماس حالت ضربه زدن [اختیاری] حالت اصطکاک حالت فاز حالت مغناطیسی حالت الکترواستاتیک	حالت تماس حالت ضربه زدن [اختیاری] حالت اصطکاک حالت فاز حالت مغناطیسی حالت الکترواستاتیک
  منحنی طیف جریان	منحنی RMS-Z منحنی نیروی FZ	منحنی RMS-Z منحنی نیروی FZ
  حالت اسکن XY	اسکن پروب محور، اسکنر لوله پیزو	اسکن نمونه محور، مرحله اسکن شیفت پیزوالکتریک حلقه بسته
  محدوده اسکن XY	70×70 میلی متر	حلقه بسته 100×100 میلی متر
  وضوح اسکن XY	0.2 نانومتر	حلقه بسته 0.5 نانومتر
  حالت اسکن Z		پروب محور اسکن
  محدوده اسکن Z	5 میلی متر	5 میلی متر
  وضوح اسکن Z	0.05 نانومتر	0.05 نانومتر
  سرعت اسکن	0.6 هرتز تا 30 هرتز	0.6 هرتز تا 30 هرتز
  زاویه اسکن	0~360 درجه	0~360 درجه
  وزن نمونه	≤15 کیلوگرم	≤0.5 کیلوگرم
  اندازه مرحله	قطر 100 میلی متر [اختیاری] قطر 200 میلی متر قطر 300 میلی متر	قطر 100 میلی متر [اختیاری] قطر 200 میلی متر قطر 300 میلی متر
  مرحله XY حرکت	100x100mm، وضوح 1um [اختیاری] 200x200 میلی متر 300x300mm	100x100mm، وضوح 1um [اختیاری] 200x200 میلی متر 300x300mm
  حرکت مرحله Z	15 میلی متر، وضوح 10 نانومتر [اختیاری] 20 میلی متر 25 میلی متر	15 میلی متر، وضوح 10 نانومتر [اختیاری] 20 میلی متر 25 میلی متر
  طراحی ضربه گیر	تعلیق فنری [اختیاری] ضربه گیر فعال	تعلیق فنری [اختیاری] ضربه گیر فعال
  سیستم نوری	هدف 5x دوربین دیجیتال 5.0M [اختیاری] هدف 10x هدف 20x	هدف 5x دوربین دیجیتال 5.0M [اختیاری] هدف 10x هدف 20x
  خروجی	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
  نرم افزار	Win XP/7/8/10	Win XP/7/8/10
  بدنه اصلی	سر اسکن دروازه ای، پایه مرمر	سر اسکن دروازه ای، پایه مرمر

• میکروسکوپ	میکروسکوپ نوری	میکروسکوپ الکترونی	میکروسکوپ کاوشگر اسکن
  حداکثر وضوح (امم)	0.18	0.00011	0.00008
  تذکر دهید	غوطه وری در روغن 1500x	تصویربرداری از اتم های کربن الماس	تصویربرداری از اتم های کربن گرافیتی درجه بالا

• تعامل پروب-نمونه	سیگنال اندازه گیری	اطلاعات
  زور	نیروی الکترواستاتیک	شکل
  جریان تونل	جاری	شکل، رسانایی
  نیروی مغناطیسی	فاز	ساختار مغناطیسی
  نیروی الکترواستاتیک	فاز	توزیع شارژ

• 	وضوح	شرایط کار	دمای کاری	آسیب به نمونه	عمق بازرسی
  SPM	سطح اتم 0.1 نانومتر	معمولی، مایع، خلاء	اتاق یا دمای پایین	هیچ یک	1 ~ 2 سطح اتم
  TEM	نقطه 0.3 ~ 0.5 نانومتر شبکه 0.1 ~ 0.2 نانومتر	خلاء بالا	دمای اتاق	کم اهمیت	معمولاً کمتر از 100 نانومتر
  SEM	6-10 نانومتر	خلاء بالا	دمای اتاق	کم اهمیت	10 میلی متر @10x 1m @10000x
  FIM	سطح اتم 0.1 نانومتر	خلاء فوق العاده بالا	30 تا 80 هزار تومان	خراب کردن	ضخامت اتم

• 
•  
•  

•