میکروسکوپ نوری + نیروی اتمی، همه کاره
◆ طراحی یکپارچه میکروسکوپ متالوگرافی نوری و میکروسکوپ نیروی اتمی، توابع قدرتمند
◆ دارای هر دو عملکرد تصویربرداری میکروسکوپ نوری و میکروسکوپ نیروی اتمی است که هر دو می توانند همزمان بدون تأثیر بر یکدیگر کار کنند.
◆ در همان زمان، عملکردهای اندازه گیری 2 بعدی نوری و اندازه گیری سه بعدی میکروسکوپ نیروی اتمی را دارد.
-
◆ سر تشخیص لیزر و مرحله اسکن نمونه یکپارچه هستند، ساختار بسیار پایدار است و ضد تداخل قوی است
◆ دستگاه موقعیت یابی پروب دقیق، تنظیم تراز نقطه لیزری بسیار آسان است
-
◆ نمونه درایو تک محوره به طور خودکار به پروب به صورت عمودی نزدیک می شود، به طوری که نوک سوزن عمود بر اسکن نمونه باشد.
◆ روش تغذیه سوزن هوشمند تشخیص خودکار سرامیکی پیزوالکتریک تحت فشار با موتور کنترل شده از پروب و نمونه محافظت می کند
-
◆ سیستم موقعیت یابی نوری با بزرگنمایی فوق العاده بالا برای دستیابی به موقعیت دقیق کاوشگر و منطقه اسکن نمونه
◆ ویرایشگر کاربر تصحیح غیرخطی اسکنر یکپارچه، نانومتر
-
-
-
-
-
-
-
-
مشخصات |
A62.4500 |
A622.4501 |
A62.4503 |
A62.4505 |
حالت کار |
حالت ضربه زدن
[اختیاری] حالت تماس حالت اصطکاک حالت فاز حالت مغناطیسی حالت الکترواستاتیک |
حالت تماس حالت ضربه زدن
[اختیاری] حالت اصطکاک حالت فاز حالت مغناطیسی حالت الکترواستاتیک |
حالت تماس حالت ضربه زدن
[اختیاری] حالت اصطکاک حالت فاز حالت مغناطیسی حالت الکترواستاتیک |
حالت تماس حالت ضربه زدن
[اختیاری] حالت اصطکاک حالت فاز حالت مغناطیسی حالت الکترواستاتیک |
منحنی طیف جریان |
منحنی RMS-Z
[اختیاری] منحنی نیروی FZ |
منحنی RMS-Z منحنی نیروی FZ |
منحنی RMS-Z منحنی نیروی FZ |
منحنی RMS-Z منحنی نیروی FZ |
محدوده اسکن XY |
20×20 میلی متر |
20×20 میلی متر |
50×50 میلی متر |
50×50 میلی متر |
وضوح اسکن XY |
0.2 نانومتر |
0.2 نانومتر |
0.2 نانومتر |
0.2 نانومتر |
محدوده اسکن Z |
2.5 میلی متر |
2.5 میلی متر |
5 میلی متر |
5 میلی متر |
وضوح اسکن Y |
0.05 نانومتر |
0.05 نانومتر |
0.05 نانومتر |
0.05 نانومتر |
سرعت اسکن |
0.6 هرتز تا 30 هرتز |
0.6 هرتز تا 30 هرتز |
0.6 هرتز تا 30 هرتز |
0.6 هرتز تا 30 هرتز |
زاویه اسکن |
0~360 درجه |
0~360 درجه |
0~360 درجه |
0~360 درجه |
اندازهی نمونه |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
XY مرحله حرکت |
15×15 میلی متر |
15×15 میلی متر |
25×25 میلی متر |
25×25 میلی متر |
طراحی ضربه گیر |
تعلیق فنری |
تعلیق فنری جعبه محافظ فلزی |
تعلیق فنری جعبه محافظ فلزی |
- |
سیستم نوری |
4 برابر هدف وضوح 2.5um |
4 برابر هدف وضوح 2.5um |
هدف 10 برابر وضوح 1um |
چشمی 10 برابر Infinity Plan LWD APO 5x10x20x50x دوربین دیجیتال 5.0M مانیتور LCD 10 اینچی با اندازه گیری روشنایی LED کوهلر فوکوس کواکسیال درشت و ظریف |
خروجی |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
نرم افزار |
Win XP/7/8/10 |
Win XP/7/8/10 |
Win XP/7/8/10 |
Win XP/7/8/10 |
-
میکروسکوپ |
میکروسکوپ نوری |
میکروسکوپ الکترونی |
میکروسکوپ کاوشگر اسکن |
حداکثر وضوح (امم) |
0.18 |
0.00011 |
0.00008 |
تذکر دهید |
غوطه وری در روغن 1500x |
تصویربرداری از اتم های کربن الماس |
تصویربرداری از اتم های کربن گرافیتی درجه بالا |
|
|
|
-
تعامل پروب-نمونه |
سیگنال اندازه گیری |
اطلاعات |
زور |
نیروی الکترواستاتیک |
شکل |
جریان تونل |
جاری |
شکل، رسانایی |
نیروی مغناطیسی |
فاز |
ساختار مغناطیسی |
نیروی الکترواستاتیک |
فاز |
توزیع شارژ |
-
|
وضوح |
شرایط کار |
دمای کاری |
آسیب به نمونه |
عمق بازرسی |
SPM |
سطح اتم 0.1 نانومتر |
معمولی، مایع، خلاء |
اتاق یا دمای پایین |
هیچ یک |
1 ~ 2 سطح اتم |
TEM |
نقطه 0.3 ~ 0.5 نانومتر شبکه 0.1 ~ 0.2 نانومتر |
خلاء بالا |
دمای اتاق |
کم اهمیت |
معمولاً کمتر از 100 نانومتر |
SEM |
6-10 نانومتر |
خلاء بالا |
دمای اتاق |
کم اهمیت |
10 میلی متر @10x 1m @10000x |
FIM |
سطح اتم 0.1 نانومتر |
خلاء فوق العاده بالا |
30 تا 80 هزار تومان |
خراب کردن |
ضخامت اتم |
-
-
-