| میکروسکوپ الکترونی روبشی رشته تنگستن (SEM) |
| | A63.7006 | A63.7015 |
| وضوح | 15nm@30KV (SE) | 5nm@30KV (BSE) |
| بزرگنمایی | 20×60000x | 20×150000x |
| تفنگ الکترونی | کارتریج رشته تنگستن از پیش متمرکز، سیستم خودکار ولتاژ بایاس |
| ولتاژ | ولتاژ شتاب 1KV تا 30KV
1KV/5KV/10KV/15KV/20KV/30KV-6 مرحله |
| سیستم لنز | لنز خازن الکترومغناطیسی 2 مرحله ای،
عدسی شیئی الکترومغناطیسی 1 مرحله ای |
| دیافراگم | - | دیافراگم عنبیه قابل تنظیم 30/50/50/100um، تغییر پرتو الکتریکی برای دریافت تصویر با وضوح بالا |
| سیستم خلاء | پمپ دوار 100 لیتر در دقیقه
پمپ مولکولی توربو، 70 لیتر در ثانیه
زمان پمپ پایین <3 دقیقه
کنترل خلاء کاملاً خودکار |
| آشکارساز | SE: آشکارساز الکترون ثانویه |
| BSE: آشکارساز پراکندگی پشت (اختیاری) |
| EDS: (اختیاری) |
| مرحله کار نمونه | سیستم 3 محوری، X، محور Y: 35 میلی متر / محور R: 360 درجه | سیستم 5 محوری، X، محور Y: 35 میلی متر / محور R: 360 درجه، Z: 0 ~ 22 میلی متر / محور شیب: 0 تا 45 درجه |
| حداکثر نمونه | 70 میلی متر در قطر، 30 میلی متر در ارتفاع | 80 میلی متر در قطر، 35 میلی متر در ارتفاع |
| تغییر تصویر | X، Y تغییر تصویر ± 150um |
| سیستم اسکن تصویر | اسکن سریع: 320x240 (زمان اسکن: 0.1 ثانیه)
اسکن آهسته: 640x480 (زمان اسکن: 3 ثانیه)
حالت عکس 1: 1280x960
حالت عکس 2: 2560x1920
حالت عکس 3: 5120x3840 |
| فرمت تصویر | BMP، JPEG، PNG، TIFF |
| عملکرد خودکار | شروع خودکار، فوکوس خودکار، روشنایی/کنتراست خودکار |
| نمایش عکس | بزرگنمایی، نوع آشکارساز، ولتاژ شتاب دهنده، حالت خلاء، لوگو (متن)، تاریخ و زمان، نشانگر متن، نوار مقیاس و غیره. |
| نرم افزار کامپیوتر | PC Work Station Win 10 System، با نرم افزار تحلیل تصویر حرفه ای برای کنترل کامل عملکرد میکروسکوپ SEM، مشخصات کامپیوتر کمتر از Inter I5 3.2GHz، حافظه 4G، مانیتور LCD IPS 24 اینچی، هارد دیسک 500G، ماوس، صفحه کلید |
| اندازه و وزن | بدنه میکروسکوپ 460x600x950mm، وزن کل 95 کیلوگرم |
| A63.7006، A63.7015 ابزار و قطعات استاندارد |
| 1 | رشته تنگستن از پیش متمرکز | 5 عدد / جعبه |
| 2 | دیا مرحله نمونه.15 میلی متر | 10 عدد |
| 3 | دیا مرحله نمونه.25 میلی متر | 10 عدد |
| 4 | دیا مرحله نمونه.15 میلی متر شیب 45 درجه | 5 عدد |
| 5 | دیا مرحله نمونه.15 میلی متر شیب 90 درجه | 5 عدد |
| 6 | استاد قد استاندارد | 1 کامپیوتر |
| 7 | آچار آلن | 1 مجموعه |
| 8 | سی دی نرم افزار SEM | 1 کامپیوتر |
| 9 | نوار رسانای کربن) | 1 کامپیوتر |
| 10 | قیچی | 1 کامپیوتر |
| 11 | اوریلاو | 1 کامپیوتر |
| 12 | موچین | 1 کامپیوتر |
