|
▶ویژگی های A64.5401 1) نرم افزار اندازه گیری و تجزیه و تحلیل با عملکرد یکپارچه نیازی به تغییر رابط برای عملکرد ندارد و پارامترهای پیکربندی از قبل قبل از اندازه گیری تنظیم می شوند.نرم افزار به طور خودکار داده های اندازه گیری را شمارش می کند و عملکرد صادرات گزارش داده را ارائه می دهد که می تواند به سرعت عملکرد اندازه گیری دسته ای را درک کند. 2) عملکرد اندازه گیری خودکار چند ناحیه ای، اندازه گیری دسته ای، فوکوس خودکار، تنظیم خودکار روشنایی و سایر عملکردهای خودکار را ارائه دهید. 3) عملکرد اندازه گیری دوخت را ارائه دهید. 4) عملکردهای پردازش داده های چهار ماژول تنظیم موقعیت، تصحیح، فیلتر و استخراج را ارائه دهید.تنظیم موقعیت شامل عملکردهایی مانند تراز کردن تصویر و آینه سازی است.تصحیح شامل عملکردهایی مانند فیلتر فضایی، روتوش، و حذف نویز اوج است.فیلتر کردن شامل عملکردهایی مانند حذف شکل، فیلتر استاندارد و فیلتر طیفی است.استخراج شامل توابعی مانند استخراج مناطق و استخراج پروفایل است. 5) پنج تابع اصلی تجزیه و تحلیل شامل تجزیه و تحلیل مشخصات هندسی، تجزیه و تحلیل زبری، تجزیه و تحلیل ساختار، تجزیه و تحلیل فرکانس و تجزیه و تحلیل تابع را ارائه دهید.در میان آنها، تجزیه و تحلیل مشخصات هندسی شامل ویژگی هایی مانند ارتفاع پله، فاصله، زاویه، انحنا و سایر عملکردها، و صاف بودن، ارزیابی تحمل گردی و سایر عملکردها است.تجزیه و تحلیل زبری شامل زبری خط مطابق با استانداردهای بین المللی ISO4287، زبری سطح ISO25178، درجه تراز ISO12781 و سایر توابع تجزیه و تحلیل کامل پارامتر است.تجزیه و تحلیل ساختاری شامل حجم منافذ و عمق فرورفتگی و غیره است.تجزیه و تحلیل فرکانس شامل توابعی مانند جهت بافت و تجزیه و تحلیل طیف است.تحلیل عملکردی شامل توابعی مانند پارامترهای SK و پارامترهای حجمی است. 6) ارائه توابع تجزیه و تحلیل کمکی مانند تجزیه و تحلیل یک کلیدی و تجزیه و تحلیل چند فایل، قالب های تجزیه و تحلیل مجموعه، همراه با اندازه گیری خودکار و توابع اندازه گیری دسته ای ارائه شده در اندازه گیری، می تواند اندازه گیری دسته ای دستگاه های دقیق با اندازه کوچک و به طور مستقیم را درک کند. داده های تجزیه و تحلیل را بدست آورید |
|
میکروسکوپ کانفوکال یک ابزار آزمایشی است که برای اندازه‌گیری نانومتری دستگاه‌ها و مواد دقیق مختلف استفاده می‌شود.این بر اساس اصل فناوری کانفوکال، ترکیب شده با فناوری اسکن موازی دیسک متخلخل، ماژول اسکن دقیق جهت Z، الگوریتم مدل سازی سه بعدی و غیره برای انجام اسکن بدون تماس بر روی سطح دستگاه و ایجاد یک تصویر سه بعدی سطحی است.تصویر سه بعدی سطح دستگاه از طریق نرم افزار سیستم انجام می شود.پردازش و تحلیل داده ها، و پارامترهای دوبعدی و سه بعدی را که کیفیت سطح دستگاه را منعکس می کند، بدست آورید،بنابراین به عنوانابزار بازرسی نوری برای اندازه گیری 3 بعدی توپوگرافی سطح دستگاه را بشناسید. |
| برگه مشخصات فنی میکروسکوپ کانفوکال A64.5401 | ||
| اصل اندازه گیری | سیستم نوری کانفوکال | |
| عدسی شیئی میکروسکوپ | 10× (استاندارد)، 20×، 50×، 100× (اختیاری) | |
| میدان دید | 160 × 160 میکرومتر ~ 1.6 × 1.6 میلی متر | |
| نرخ فریم اسکن *1 | ≥10 هرتز | |
| اندازه گیری قد | تکرارپذیری*2 | 20×: 40 نانومتر؛50×: 20 نانومتر؛100×: 20 نانومتر |
| دقت*2 | ± (0.2+L/100) میکرومتر | |
| کیفیت نمایش | 0.5 نانومتر | |
| اندازه گیری عرض | تکرارپذیری*3 | 20×: 100 نانومتر؛50×: 50 نانومتر؛100×: 30 نانومتر |
| دقت*3 | ± 2٪ | |
| کیفیت نمایش | 1 نانومتر | |
| پلت فرم جابجایی XY | اندازه | 210×210 میلی متر |
| محدوده متحرک | 100×100 میلی متر | |
| بار | 10 کیلوگرم | |
| روش کنترل | برقی | |
| محدوده حرکت جهت Z | 100 میلی متر | |
| برج عدسی شیئی | 5 سوراخ موتوری | |
| روشنایی | منبع نور | رهبری |
| حداکثر خروجی | 840 میلی وات | |
| ابعاد | 590×390×540 میلی متر | |
| وزن مجموع | 45 کیلوگرم | |
| منبع تغذیه | AC220V/50Hz | |
| محیط کار | دما 10℃~ 35℃، گرادیان دما <1℃/15 دقیقه، رطوبت 30 تا 80 درصد، لرزش <0.002 گرم، کمتر از 15 هرتز | |
| توجه: *1 از یک لنز 20x برای اندازه گیری بلوک نمونه پله استاندارد 4.7 میکرومتر در دمای محیط 2±20 درجه سانتی گراد استفاده کنید. *2 بلوک نمونه پله استاندارد 4.7 میکرومتر را در دمای محیط 2±20 درجه سانتیگراد با عدسی 20 بار یا بیشتر اندازه گیری کنید. *3 از عدسی 20 بار یا بیشتر برای اندازه گیری نمونه مشبک استاندارد در دمای محیط 2±20 درجه سانتی گراد استفاده کنید. |
||
| مشخصات لنز شیئی | دیافراگم عددی میدان دید مدل فاصله کاری (WD) | |
| 10X 1600×1600 میکرومتر 10.6 میلی متر 0.25 | ||
| 20X 800×800 میکرومتر 1.3 میلی متر 0.40 | ||
| 50X 320×320 میکرومتر 0.38 میلی‌متر 0.75 | ||
| 100X 160×160 میکرومتر 0.21 میلی متر 0.90 | ||
| لیست پیکربندی محصول پیکربندی استاندارد: |
1) A64.5401 بدنه اصلی | |
| 2) مرحله جابجایی XY: مرحله جابجایی خودکار | ||
| 3) کامپیوتر برند | ||
| 4) ماژول کالیبراسیون سیستم | ||
| 5) جوی استیک | ||
| 6) نرم افزار میکروسکوپ کانفوکال | ||
| 7) جعبه لوازم جانبی ابزار | ||
| 8) راهنمای محصول | ||
| 9) گواهی محصول، کارت گارانتی | ||
| اختیاری | 1) عدسی شیئی اندازه گیری: 20×، 50×، 100× | |
| 2) میز مکش خلاء (برای ویفرهای نیمه هادی): 6 اینچ، 8 اینچ؛ | ||
| 3) ماژول عملکرد اندازه گیری اتصال اندازه گیری خودکار (نیاز به پشتیبانی سخت افزاری دارد) | ||
|
انجام ویژگی های توپوگرافی سطح مانند خطوط سطح، عیوب سطح، شرایط سایش، شرایط خوردگی، صافی، زبری، موج دار بودن، شکاف های منافذ، ارتفاع پله ها، تغییر شکل های خمشی، و شرایط پردازش محصولات، اجزا و مواد مختلف.اندازه گیری و تجزیه و تحلیل. |
|
▶4.1 دقت بالا و تکرارپذیری بالا سیستم اندازه گیری متشکل از سنسورهای تصویربرداری کم نویز، اجزای نوری با کارایی بالا و رمزگذارها، و الگوریتم های بازسازی سه بعدی عالی، اندازه گیری مطابق با استانداردها را تضمین می کند.ریشه در صنعت اندازه گیری برای چندین سال، همان خط طراحی صنعتی و سطح پردازش بالا تضمین می کند که تکرارپذیری اندازه گیری سطح بالایی دارد. |
|
▶4.2 اسکن موازی با سرعت بالا اسکن موازی چند نقطه ای پروفیل با استفاده از دیسک متخلخل راندمان کار را در مقایسه با طرح اسکن تک نقطه ای سنتی گالوانومتر بسیار بهبود می بخشد و اسکن تنها در چند ثانیه انجام می شود. |
|
▶4.3 سازگاری قوی سیستم اندازه گیری دارای محدوده دینامیکی فوق العاده بالا برای موقعیت های مختلف نمونه، پیچیدگی سطح و بازتاب سطح است.
▶4.4 نرم افزار یکپارچه اندازه گیری و تجزیه و تحلیل 1) اندازه گیری و تجزیه و تحلیل بر روی یک رابط انجام می شود، بدون سوئیچینگ، داده های اندازه گیری به طور خودکار شمارش می شود و عملکرد اندازه گیری دسته ای سریع محقق می شود. 2) پنجره بصری برای کاربران راحت است که روند اسکن را در زمان واقعی مشاهده کنند. 3) همراه با عملکرد اندازه گیری خودکار قالب تجزیه و تحلیل سفارشی، می تواند به طور خودکار فرآیند اندازه گیری و تجزیه و تحلیل چند منطقه ای را تکمیل کند. 4) پنج ماژول عملکردی تجزیه و تحلیل هندسی، تجزیه و تحلیل زبری، تجزیه و تحلیل ساختار، تجزیه و تحلیل فرکانس، و تجزیه و تحلیل تابع کامل است. 5) تجزیه و تحلیل با یک کلیک، تجزیه و تحلیل چند فایل، موارد تجزیه و تحلیل آزادانه ترکیب شده به عنوان الگوهای تجزیه و تحلیل ذخیره می شوند، تجزیه و تحلیل با یک کلیک نمونه های دسته ای، و تجزیه و تحلیل داده ها و توابع نمودار آماری ارائه می شود. 6) بیش از 300 پارامتر دو بعدی و سه بعدی را می توان با توجه به استانداردهای ISO/ASME/EUR/GBT و سایر استانداردها اندازه گیری کرد. |
|
▶4.5 جوی استیک دقیق جوی استیک ادغام شده با عملکرد تنظیم جابجایی در سه جهت X، Y و Z می تواند به سرعت کارهای پیش اندازه گیری مانند ترجمه مرحله و فوکوس جهت Z را تکمیل کند.
▶4.6 طراحی ضد برخورد از آسیب دیدن عدسی شیئی و جسم مورد اندازه گیری به دلیل برخورد ناشی از عملکرد نادرست خودداری کنید.
▶4.7 میکروسکوپ تمام الکتریکی این قطعات الکتریکی نزدیک به هم که به یک سری قطعات الکتریکی مجهز شده اند، با هم کار می کنند تا مشاهده را سریع و ساده کنند. |
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
